機(jī)械顯微操作多功能型工業(yè)顯微鏡,帶分析軟件對(duì)AFM 懸梁芯片的操作 原子力顯微鏡((AFM )中的懸梁硅尖主要以納米級(jí)的精度掃描物體表面,產(chǎn)生微觀三維圖形。在制造AFM 時(shí),必須利用刀片手工對(duì)懸梁芯片進(jìn)行切割, 然后夾持切割好的懸梁,定位并粘連在AFM 頂部。對(duì)于這些操作,即使是熟練的操作者,成功率也只有70%.如果采用有力反饋的微操作系統(tǒng),即使是不熟練的操作者,成功率也可以達(dá)到100%.具有硅尖的懸梁不僅用在AFM 中,也可用在機(jī)械或化學(xué)微傳感器中。 商用的懸梁一般做在一個(gè)圓片上或連接在一個(gè)框架上,對(duì)于圓片上的懸梁,雖然價(jià)格比較便宜,但需要將懸梁從圓片上切下,然后粘連在AFM 的頂部支架上。對(duì)懸梁的操作是十分困難和費(fèi)時(shí)的,成功率取決于操作者的熟練程度。 兩個(gè)操作(從圓片上切下懸梁和操作它精確定位)都需要小心進(jìn)行,避免毀壞單個(gè)懸梁和整個(gè)圓片。同時(shí),在切割懸梁時(shí)會(huì)產(chǎn)生小的碎片,這些碎片遺留在懸梁上,將影響AFM 的工作。 另一方面,懸梁尺寸非常小,操作起來(lái)非常困難。
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